Mini-TASK Pumping System
技术参数： 极限真空镀
KF40/ISO63 inlet: 2 x 10-7 mbar
4-1/2 in. ConFlat® Flange: 5 x 10-8 mbar*
抽1升体积真空度下降时间
60 seconds to 24 mbar
120 seconds to 1 x 10-4 mbar
160 seconds to 7 x 10-5 mbar
分子泵转速
75,000 rpm
冷启动时间
Less than 2 minutes
安装方向
Any
使用环境温度
5 °C to 35 °C
输入电压和频率
90V to 240V AC, 50 Hz to 60 Hz
最大输入功率
220 W
最高烘烤温度
ConFlat Flange: 120 °C at inlet
KF/ISO flange: 80 °C at inlet
通信接口形式
RS-232 cable, 9-pin D-type male, 9-pin D-type female,
Navigator™ Software
*NOTE: 根据 DN 28 428标准，实现以上所提到的极限真空度条件是：系统经测漏检测得良好，分子泵连接口为刀口连接，并经过48小时烘烤后，降温后所能到达的。 |
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