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TriScroll 600 是Varian 公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品，具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。
多年的实际应用证明,Varian独有的专利TriScroll设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。
技术特点：
l 独有的TriScrollTM 专业结构设计
l 具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
l 高可靠性
l 具有自动气镇口
