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IDP-3 干式涡旋泵是Varian 公司最新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。IDP-3 是世界上最小的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到各种实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。
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产品特点：
l 全无油泵，不会污染真空系统
l 采用独立马达与轴承的密封设计
l 体积小巧：351x181x140mm
l 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
l 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
l 低噪声，低振动
