Varian, Inc.
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Dry Scroll Pumps
SH-110
TriScroll 300
TriScroll 600
 

     

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SH-110

Varian SH-110全密封干式涡旋泵具有业内领先的真空获得性能,结构紧凑,能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110/分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择

 

SH-110涡旋泵符合CECSA以及Semi S2-0200等多种标准。

 

性能特点:

l   工作状态下泵体发热低

l    马达功率不到200瓦,低功耗

l   内置出气阀门有效降低工作噪声   

l   出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求  

l   高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态

l     重量轻,配有把手,易于携带   

l    内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全  

l     配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

l     维护简便,只需定期更换密封圈即可  

 

 

Dry Scroll Pump



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