SH-110
Varian SH-110全密封干式涡旋泵具有业内领先的真空获得性能,结构紧凑,能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。
SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
性能特点:
l 工作状态下泵体发热低
l 马达功率不到200瓦,低功耗
l 内置出气阀门有效降低工作噪声
l 出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求
l 高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态
l 重量轻,配有把手,易于携带
l 内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全
l 配有自动气镇阀以有效排空水蒸气
l 维护简便,只需定期更换密封圈即可
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| The Complete Solution |
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技术参数与外形图 |
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