钛升华泵（TSP）

对于需要清除氢气与氮气等活性气体的超高真空系统来说，使用钛升华泵是一种很典型的有效真空获得手段。由于离子泵对于超高真空环境中诸如氩气和甲烷等非活性气体非常有效，因此钛升华泵通常与其集成在一起配合使用。

钛升华泵可以作为一个模块增加到离子泵内部，同样也可以单独使用。如果使钛升华泵与通有液氮冷却的冷板相集成，可以对水蒸气获得极高的抽速。

Varian 公司提供两种类型的钛升华泵供用户选择:

• 钛丝型
  对于超高真空系统来说,丝状态金属源是最好的选择,它可以在两次升华之间停止加热,因此不会产生引热而所引起的出气.

• 钛球型
  球形态金属源可以包含更多的金属钛,因此具有更长的使用寿命,适合消耗钛较多的应用,例如工作压强相对较高的使用条件.但是,球形钛金属源. 要求在两次升华之间进行持续供电以避免钛金属球上产生破裂.
  
  Features, outline drawings, technical specs,and ordering information can be found on pages 37-39 in the Ion Pumps Catalog (.pdf 1.3MB) or through our Vacuum Online Catalog Web site.