迷你型及小型 VacIon 离子泵
Varian 公司生产多种小型离子泵产品供用户选择,特别是针对电子器件及探测器等专业应用需要。迷你型(Miniature)VacIon 离子泵是一款二极型产品,对氦气具有大约0.41/s 的抽速。
抽速为21/s 的型号是一款经过改进的二极型产品,提高了在低压范围的启动性能。抽速为81/s 的二极型型号对氢等残余气体具有非常好的抽气效果。
其他改型及用户定制型产品
可根据用户对于进气管长度、角度及直径的要求提供标准品以外的改型产品。这些离子泵产品可以根据用户定制要求对高压引线、泵体几何尺寸以及抽气单位的排列形式进行设计。同时还可以根据用户的特殊需要提供特别的检测过程。 |
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