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离子泵

VacIon Plus 系列产品由多种离子泵、电源、选配件及附件组成,能够为所有超高真空应用提供完美的解决方案。.

在超高真空应用领域,真空系统对工作压强、待抽气体的组成成分以及系统中超高真空获得设备的启动压强的要求具有显著不同,因此没有任何单一泵产品能够满足所有的要求。正因为此,Varian 为用户提供了一系列完整的离子泵产品,涵盖各种类型及尺寸,从而可以针对每一种具体应用选择性能最佳的产品。

VacIon Plus 系列产品包括 Diode(二极型)、Noble Diode(惰性二极型)以及StarCell(专利的三极型)三种不同类型的离子泵。同时还提供包括Mimi Vac、Dual 和 Midi Vac 三种离子泵电源,用户可从中选择所需功率要求和接口标准的产品。.

技术特点 

  • 最优化的阳极单元结构设计
  • 运输过程中保持泵体内为真空环境 
  • 可选抽速范围大 
  • 多种泵体配置 
  • 带自锁功能的高压引线设计 
  • 三种类型可选 (Diode,Noble  Diode 和 StarCell) 
  • 陶瓷绝缘体保证足够长的使用寿命



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Typical Applications
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(.pdf, 225KB)
Ion Pumps Catalog
(.pdf, 1.16MB)