钛升华复合泵
在超高真空获得应用领域，瓦里安公司提供的离子泵/钛升华一体式复合泵产品久负盛名，能够为用户创造科研所需要的超高/极空真空环境。一体式复合泵在离子泵模块抽空如氩气和甲烷等非活性气体的同时，钛升华模块对活性气体具有非常高的抽速。
一体式复合泵结构上是在VacIon Plus 150，300 或 500 离子泵体上增加一个侧向或底部开口的8英寸刀口法兰端口，包含钛源和低温冷板的钛升华模块通过此端口与离子泵安装在一起。
Varian VacIon Plus 系列产品允许用户选择钛升华冷板的开口位置在侧向或底部进行选择，这使得在高度空间有限的工位上，复合泵的选择具有相当的灵活性。
技术参数
