真空泵

前级真空泵
		涡卷式干泵 专为洁净的无油系统设计。抽气范围从大气压至10-2毫巴。
		机械泵 包括最新型的Smart泵，抽气范围从大气压到2×10-3毫巴。
高真空和超高真空泵
		扩散泵大抽速，高排气量，适用于10-1——10-8毫巴。
		分子泵机电一体化的设计，具有前级耐压高的特性。适用于10——10-10 毫巴。
		离子泵是用于超高真空范围的真空泵,二极离子泵，三极离子泵和复合离子泵适用于10-4——10-11毫巴。

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