531和536型热偶规
Varian 的 531 和 536 热偶规适合于连续和准确地测量绝对压力为1 x 10-3 torr 至2.0 torr 的真空度. 二者均对安装取向没有选择性,而且对压力变化响应快速。
531 规的管体材料为镀镍的可锻钢,536 规的管体为304L 不锈钢一体焊接而成。而且536 规管配有内置挡板,以延长传感器在较多可冷凝性气氛存在下的使用寿命,并且使规管能够工作在更高的压强下。
热偶规模拟器
模拟器用于热偶规控制器的校准和零点调整。它可以模拟 1 大气压和小于10-4 torr 的真空度。 |