Varian 的525型冷阴极规所测量的真空度范围为 1X10-8 至1X10-2 torr,其测量值准确,重复性好,可靠性高。而由于没有易烧毁的灯丝,突然暴露大气不会对该规造成任何的损坏。
525 规在结构上和倒磁控管真空规类似,因此它可以在非常低的真空度下启动,而常规的冷阴极规在此压力下推测则难以启动。